В раннем древнегреческом языке прилагательное ἄθεος означало «отрицающий богов». Слово стало означать намеренное, активное безбожие в V веке до н. э. и приобрело смысл «разорвавший отношения с богами», «отрицающий богов, безбожник». К тому, кто отрицал местных богов, хотя при этом мог верить в других богов, стали применять термин ἀσεβής — «нечестивый». Сегодня слово atheos в классических текстах иногда переводится как «атеистический». Также было абстрактное имя существительное ἀθεότης, «атеизм». Цицерон сделал латинскую транслитерацию греческого слова — atheos. Термин широко использовался в спорах между ранними христианами и язычниками, причём каждая сторона уничижительно обозначала им своих оппонентов.
Слово атеист впервые было использовано для обозначения практического безбожия в 1577 году